任何儀器的配套部件對其整體的運行都十分重要。超純水機采用了精密過濾器、活性炭過濾器、反滲透膜和凈化塔這些部件。它們都是具有自己的作用，并保證儀器整體正常運行。所以在使用超純水機時，也應注意這些配套部件的保養，下面我們來仔細說說。
　　1、精密濾芯
　　精密濾嘴，又稱濾嘴，主要過濾水中的泥沙等大顆粒，它的過濾精度為5微米、1微米等。新的過濾器是白色的。如果表面長期淤積會出現褐色。說明過濾器不能進行使用了。自來水清洗表面的污垢以后，還可以繼續使用1-2周，但是不能長期使用，過濾器放在濾瓶里有的濾芯是透明的，可以直接看到濾芯的顏色變化。但是有些過濾瓶不是透明的，就需要打開觀察濾芯的變化。從實證數據的統計來看，精確濾波器的使用周期一般為3個月到6個月。如果水中有較多的泥沙，壽命就會變短，如果泥沙少，壽命就會變長。
　　2、活性炭濾芯
　　主要可以去除水中異味、有機物等。水中的余氯對反滲透膜有氧化作用，因此有必要通過活性炭去除。活性炭濾芯表面沒有可見的變化。根據經驗，通常大約一年左右達到飽和吸附，需要更換。
　　3、反滲透膜
　　反滲透膜在超純水機中起到非常大的作用。它的直徑很小。所以在使用的時候，如果細菌的微觀物質通常沉積在表面上，通常，每個制造商的純水機具有反沖洗功能。洗掉污染物。耗水量可在10升/天內洗滌3-5次。如果超過10升可以多洗幾次，如果長時間不使用，就需要取出放在消毒劑中以放置細菌滋生。但是這個過程很麻煩。所以建議即使不使用它，也經常用少量的水打開以允許機器內部。水形成循環，縮短沉積時間。反滲透膜的壽命為2- 3年，主要取決于所用的水量。因此，在選擇時需要選擇匹配規格。
　　4、純化柱
　　凈化柱又稱為稱為超純柱。它的作用是對反滲透純水進行深層海水淡化，達到原生水或超純水的水平。原理是離子交換。凈化柱的壽命用在線電阻率表示。低于特定的電阻意味著凈化柱過期，更直觀。除了耐水的壽命外，各廠商填充離子交換樹脂和離子交換樹脂本身的質量尤為重要。