超純水機是自來水經過精密濾芯和活性碳濾芯進行預處理，過濾泥沙等顆粒物和吸附異味等，讓自來水變得更加干凈，然后再通過反滲透裝置進行水質純化脫鹽，超純水進入儲水箱儲存起來，其水質可以達到國家標準，同時將反滲透裝置中的廢水排掉。反滲透純水通過純化柱進行深度脫鹽處理就得到超純水，然后如果用戶有特殊要求，則在實驗室超純水后面加上紫外殺菌或者微濾、超濾等裝置，除去水中殘余的細菌、微粒、熱源等。
　　在超純水機制取超純水的過程中，電阻值是水純度測量范圍之一，通過測量水的電阻值可以了解水中離子含量的高低，從而判斷水質的純度，與純水的電導率測量不同，超純水一般以電阻值來表明水質的純度。
　　1、電阻單位
　　電阻值的單位稱之為歐姆，符號為Ω，超純水的電阻率通常較大，一般用MΩ進行表示，同時由于其余電導率為倒數關系。
　　5μS/cm=0.2MΩ.cm;
　　1μS/cm=1MΩ.cm;
　　0.5μS/cm=2MΩ.cm;
　　0.2μS/cm=5MΩ.cm;
　　0.1μS/cm=10MΩ.cm;
　　18.25MΩ.cm=0.055μS/cm。
　　2、超純水純度原理
　　根據歐姆定律，在水溫相同的情況下，水的電阻值R大小與與電極的垂直截面積F成反比，與電極之間的距離L成正比。所以在測定導電性能時，水的電阻值越大，導電性越差，電阻值越小，導電性就越好。
　　而水的電阻率跟水中的離子含量、含鹽量等都有關系，所以水的純度越高，離子含量越少，電阻率就會越大。因此，電阻值通常反映超純水的純度。超純水離子含量低，電阻值通常>10MΩ.cm，理論上純水電阻值為18.25MΩ.cm。